一种真空型太赫兹干燥探头及检测方法
基本信息
申请号 | CN201910723729.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112345484A | 公开(公告)日 | 2021-02-09 |
申请公布号 | CN112345484A | 申请公布日 | 2021-02-09 |
分类号 | G01N21/3581(2014.01)I; | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 王丹 | 申请(专利权)人 | 华太极光光电技术有限公司 |
代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 尹丽云 |
地址 | 200433上海市杨浦区军工路1436号64幢一层A137室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出一种真空型太赫兹干燥探头,包括:腔体、抽真空模块、太赫兹波发射模块和太赫兹波接收模块,所述腔体内设置有用于调节太赫兹波传输方向的调节装置和用于放置被测物体的置物台;所述抽真空模块与所述腔体对接,对所述腔体进行抽真空;所述太赫兹波发射模块和所述太赫兹波接收模块设置于所述腔体外部;所述调节装置接收所述太赫兹波发射模块发出的太赫兹波,并将所述太赫兹波聚焦到被测物体表面;所述调节装置将穿过所述被测物体表面的太赫兹波发送给所述太赫兹波接收模块,对被测物体进行检测;本发明可有效提高检测准确性,结构简单,操作便捷。 |
