太赫兹系统及方法
基本信息
申请号 | CN202110192203.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112903587A | 公开(公告)日 | 2021-06-04 |
申请公布号 | CN112903587A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
分类号 | G01N21/01;G01N21/3586 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 周铭;孙丽;严丽平;刘扬;徐菲;严中亮;虞斌;施杰;吴玫晓;杨旻蔚 | 申请(专利权)人 | 华太极光光电技术有限公司 |
代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 邬嫡波 |
地址 | 200233 上海市徐汇区钦州路508号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种太赫兹系统及方法,包括:环形导轨、太赫兹发射镜头、样品座、样品座支架、二维扫描台和太赫兹接收镜头;环形导轨上设有第一和第二滑块;第一和第二滑块沿环形导轨滑动;太赫兹发射镜头旋转设置于第一滑块上,太赫兹接收镜头旋转设置于第二滑块上;样品座支架一端与样品座连接,另一端与二维扫描台连接,以使二维扫描台带动样品座进行二维运动,以使样品座相对于太赫兹发射镜头和太赫兹接收镜头做二维运动;太赫兹发射镜头发出太赫兹波,以使放置于样品座上的样品反射或透射太赫兹波,以使携带有样品信息的太赫兹波被太赫兹接收镜头接收。本发明的一种太赫兹系统及方法,用于同时提供可以切换不同的检测模式,对样品进行二维扫描。 |
