太赫兹系统及方法

基本信息

申请号 CN202110192203.5 申请日 -
公开(公告)号 CN112903587A 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN112903587A 申请公布日 2021-06-04
分类号 G01N21/01;G01N21/3586 分类 测量;测试;
发明人 周铭;孙丽;严丽平;刘扬;徐菲;严中亮;虞斌;施杰;吴玫晓;杨旻蔚 申请(专利权)人 华太极光光电技术有限公司
代理机构 上海光华专利事务所(普通合伙) 代理人 邬嫡波
地址 200233 上海市徐汇区钦州路508号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种太赫兹系统及方法,包括:环形导轨、太赫兹发射镜头、样品座、样品座支架、二维扫描台和太赫兹接收镜头;环形导轨上设有第一和第二滑块;第一和第二滑块沿环形导轨滑动;太赫兹发射镜头旋转设置于第一滑块上,太赫兹接收镜头旋转设置于第二滑块上;样品座支架一端与样品座连接,另一端与二维扫描台连接,以使二维扫描台带动样品座进行二维运动,以使样品座相对于太赫兹发射镜头和太赫兹接收镜头做二维运动;太赫兹发射镜头发出太赫兹波,以使放置于样品座上的样品反射或透射太赫兹波,以使携带有样品信息的太赫兹波被太赫兹接收镜头接收。本发明的一种太赫兹系统及方法,用于同时提供可以切换不同的检测模式,对样品进行二维扫描。