一种半导体运输装置

基本信息

申请号 CN202022355249.8 申请日 -
公开(公告)号 CN214086647U 公开(公告)日 2021-08-31
申请公布号 CN214086647U 申请公布日 2021-08-31
分类号 B65G49/07(2006.01)I;B65G65/23(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 何建军;蒋美安 申请(专利权)人 深圳市盛元半导体有限公司
代理机构 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 代理人 申文涛
地址 518101广东省深圳市宝安区福永街道凤凰第三工业区创业园E幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种半导体运输装置,属于运输设备技术领域。所述的半导体运输装置包括用于盛放工件的料盘、料盘竖直搬运机构、料盘水平搬运机构、料盘翻转卸料机构;所述的料盘水平搬运机构有两个呈上下分布设置,料盘水平搬运机构两端侧方分别设有一个料盘竖直搬运机构,料盘水平搬运机构末端设有料盘翻转卸料机构。本实用新型通过将工件放置在料盘内,然后对料盘进行搬运,将工件运输到各个加工工序中,料盘能够有效保护工件,防止工件损坏,保证了工件加工的安全性。