一种板式臭氧发生器放电室专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种板式臭氧发生器放电室

基本信息

申请号	CN202022908430.7	申请日	-
公开（公告）号	CN213771342U	公开（公告）日	2021-07-23
申请公布号	CN213771342U	申请公布日	2021-07-23
分类号	C01B13/11（2006.01）I	分类	无机化学;
发明人	王振交;艾凡凡;江铁军	申请（专利权）人	苏州晶拓半导体科技有限公司
代理机构	南京科知维创知识产权代理有限责任公司	代理人	许益民
地址	215121江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号208室东单元
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种板式臭氧发生器放电室，通过在高压极板的两侧设置第一介电体层、在两块地极板靠近高压极板的内侧分别设置第二介电体层，使得高压极板和两块地极板不直接暴露在等离子环境中，保证了放电产生臭氧的过程中不会引入杂质，满足了高纯度要求；通过在高压极板的两侧对称设置两块地极板，实现了双面对称放电，提高了放电室的功率；通过在第一介电体层和第二介电体层之间设置气隙形成层，通过更换不同厚度的气隙形成层即可实现放电间隙的调整，放电间隙范围为5‑1000μm；通过在外壳体上设置与放电单元配合的进气通道、固定槽和出气通道，进气和出气都在外壳体内进行，提高了密封性，有效防止气体泄漏，同时避免引入其他部件，结构简单。