一种具有过压保护功能的臭氧系统
基本信息
| 申请号 | CN202023076145.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213802922U | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN213802922U | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | C01B13/11（2006.01）I;F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I;F17D5/00（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王振交;艾凡凡;江铁军 | 申请（专利权）人 | 苏州晶拓半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 许益民 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区娄葑北区创投工业坊20号厂房一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种具有过压保护功能的臭氧系统，包括气源模块、臭氧发生模块和控制模块，气源模块用于提供原料气，臭氧发生模块包括臭氧发生器、进气管和出气管，臭氧发生器通过进气管与气源模块连接，进气管上设有气体流量计，出气管依次连接臭氧发生器、臭氧比例控制阀、臭氧缓冲罐和臭氧过压保护组件，臭氧缓冲罐和臭氧过压保护组件之间的出气管上设有第一压力传感器，第一压力传感器的输出端与控制模块的输入端电性连接，控制模块的输出端与气源模块电性连接，控制模块的输出端与臭氧发生器电性连接。 |
