一种气密性测试装置

基本信息

申请号 CN202120609615.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214471597U 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN214471597U 申请公布日 2021-10-22
分类号 G01M3/26 分类 测量;测试;
发明人 江铁军;王振交 申请(专利权)人 苏州晶拓半导体科技有限公司
代理机构 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 代理人 许益民
地址 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路77号208室东单元
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种气密性测试装置,该气密性测试装置包括出气控制单元和多个测试单元,多个测试单元依次串联连接,每个测试单元均包括连接子单元和进气子单元,连接子单元包括进气口和出气口,进气子单元包括进气开关和压力显示器,进气开关的进口端与其相邻的测试单元的出气口连通,进气开关的出口端与属于同一进气子单元的压力显示器的进口端连通,压力显示器的出口端与属于同一测试单元的进气口连通,出气控制单元的进口端与多个测试单元中位于最末端的测试单元的出气口连通。