一种低成本板式等离子体放电室
基本信息
| 申请号 | CN202111297272.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113942978A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113942978A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C01B13/11（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王振交;尹立红;江铁军 | 申请（专利权）人 | 苏州晶拓半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 潘亚琳 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区娄葑北区创投工业坊20号厂房三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种低成本板式等离子体放电室，该放电室包括第一固定件、第二固定件、以及自上至下依次固定在第一固定件和第二固定件之间的多组放电单元，通过在第一固定件上设置总进气通道和多个子进气通道、在第二固定件上设置总出气通道和多个子出气通道，多组放电单元分别与多个子进气通道一一对应连通以使原料气进入，多组放电单元分别与多个子出气通道一一对应连通以将产生的臭氧气体输送出去，有效地减少了管路与VCR接头的使用，大幅降低了成本，同时改善了气体压力损失，且放电室整体体积缩小，方便进行设备小型化。 |
