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专利信息4

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构	实用新型	CN201821410186.8	CN208859148U	2019-05-14
2	超高精密硅基通孔图形结构的制备方法	发明专利	CN201410342883.4	CN105261588B	2017-06-23
3	超高精密硅基通孔图形结构的制备方法	发明专利	CN201410342883.4	CN105261588A	2016-01-20
4	一种用于精密掩模板对准的微型装置	实用新型	CN201420371749.2	CN203932033U	2014-11-05

软件著作权7

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	瑞莱博高真空电子束蒸发镀膜机控制系统软件	-	V1.0	2019SR0748616	30000-0000	2019-05-14	2019-07-18
2	瑞莱博有机物稳定性测试装置控制软件	-	V1.0	2019SR0748207	30000-0000	2018-12-18	2019-07-18
3	瑞莱博有机小分子升华仪串联控制平台软件	-	V1.0	2019SR0748142	30000-0000	2019-03-17	2019-07-18
4	瑞莱博多功能物理气相沉积系统控制软件	-	V1.0	2019SR0745866	30000-0000	2018-10-26	2019-07-18
5	瑞莱博有机小分子升华提纯设备控制软件	-	1.0	2019SR0356448	10100-0000	2018-10-05	2019-04-19
6	瑞莱博可实现多靶位磁控溅射设备的各个部件运行的控制软件	-	1.0	2019SR0356437	10100-0000	2018-11-16	2019-04-19
7	瑞莱博小型磁控溅射真空镀膜机用控制软件	磁控溅射控制软件	V1.0	2018SR683678	30208-3900	2018-06-15	2018-08-27

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