晶棒碳含量轴向分布计算方法
基本信息
| 申请号 | CN202210305967.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114637954A | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN114637954A | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | G06F17/10（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 闫龙;王忠保;周文辉 | 申请（专利权）人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶棒碳含量轴向分布计算方法，构建第一计算公式其中，K0为平衡溶质分凝系数，gx为晶棒在x位置的凝固比例，Cx晶棒在x位置的碳含量，C0为拉晶前石英坩埚内硅熔液中的碳含量，分别获取K0、C0、gx的数值，并根据第一计算公式计算Cx，通过检测晶棒尾部的碳含量，再利用第一计算公式，可以较为准确的计算出碳含量在晶棒的轴向分布，避免反切不足或反切过量造成单晶浪费的问题。 |
