一种提高<100>单晶成活率的放肩方法
基本信息
| 申请号 | CN202210403758.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717648A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717648A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C30B15/20（2006.01）I;C30B15/22（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 闫龙;周文辉;王忠保 | 申请（专利权）人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种提高<100>单晶成活率的放肩的方法，属于单晶炉提拉法生长单晶技术领域，根据预定拉速曲线进行晶棒拉制，以得到放肩肩型为等腰三角型的目标英寸晶棒，本发明通过预定拉速曲线进行晶棒拉制，使得放肩的肩型统一，且在放肩的过程中能够避免肩型中出现四条隆起脊带的概率，从而降低放肩的NG率。 |
