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序号	发布日期	标题	采购人
1	2022-03-31	(3205822022033101A01000)半导体制造用机器人系统及晶圆搬运设备	-
2	2022-03-31	(320582202203310101)菲科半导体（张家港）有限公司/半导体制造用机器人系统及晶圆搬运设备（车间改造）	-
3	2022-03-30	半导体制造用机器人系统及晶圆搬运设备项目直接发包结果公告	-
4	2022-03-30	[张家港市]半导体制造用机器人系统及晶圆搬运设备（车间改造）	菲科半导体（张家港）有限公司

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