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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种IGBT产品用探针台	实用新型	CN202021795069.5	CN212872576U	2021-04-02
2	一种半导体玻璃钝化电泳装置	实用新型	CN202021645357.2	CN212865029U	2021-04-02
3	一种半导体化学气相沉积支架	实用新型	CN202021683782.0	CN212864963U	2021-04-02
4	一种芯片玻璃钝化自动擦粉机	实用新型	CN202021692687.7	CN212695139U	2021-03-12
5	一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置	实用新型	CN202021645322.9	CN212695131U	2021-03-12
6	一种干法刻蚀机台	实用新型	CN202021646878.X	CN212695120U	2021-03-12
7	一种用于干法刻蚀的硅片夹具	实用新型	CN202021645346.4	CN212695119U	2021-03-12
8	一种易于安装的晶圆测试装置	实用新型	CN201921087309.3	CN210893015U	2020-06-30
9	一种硅晶圆测试用探针机台	实用新型	CN201921065664.0	CN210626612U	2020-05-26
10	一种晶圆检测分类装置	实用新型	CN201921065665.5	CN210604702U	2020-05-22

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