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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种石英舟	实用新型	CN202120145082.4	CN213905324U	2021-08-06
2	一种硅片用石英舟及硅片放置方式	发明专利	CN202110069338.2	CN112735996A	2021-04-30
3	一种具有预加热功能的石英管反应室	实用新型	CN202020845224.3	CN212560517U	2021-02-19
4	一种石英舟输送安装装置及使用方法	发明专利	CN202010894116.X	CN112071791A	2020-12-11
5	一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置	实用新型	CN202020311060.6	CN212017151U	2020-11-27
6	一种新型颗粒收集装置	实用新型	CN202020311067.8	CN211996748U	2020-11-24
7	一种新型碳化硅桨调整机构	实用新型	CN202020141766.2	CN211977596U	2020-11-20
8	一种新型硅片水平插片机构	实用新型	CN202020701654.8	CN211529916U	2020-09-18
9	一种LPCVD双材质真空反应室	实用新型	CN202020140602.8	CN211497783U	2020-09-15
10	一种加热炉隔热门	实用新型	CN201922291076.5	CN211291048U	2020-08-18

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