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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆镀液的快速降温系统	实用新型	CN202021945516.0	CN212640606U	2021-03-02
2	晶圆镀钯装置	实用新型	2020219466983	CN212412019U	2021-01-26
3	晶圆镀液的高精度控温系统	实用新型	2020219466979	CN212412018U	2021-01-26
4	晶圆双轴承升降抛动机构	实用新型	CN202021671271.7	CN212322968U	2021-01-08
5	镀金液匀流系统	实用新型	CN202021670620.3	CN212322967U	2021-01-08
6	镀金液匀流系统	发明专利	CN202010808454.7	CN111863673A	2020-10-30
7	晶圆双轴承升降抛动机构	发明专利	CN202010807771.7	CN111863672A	2020-10-30
8	水驱动扫描式间歇喷水机构	实用新型	CN201922313658.9	CN211437196U	2020-09-08
9	一种塑料焊道的去除工具	实用新型	CN201921882967.1	CN211221676U	2020-08-11
10	一种硅片清洗的防烙印机构	实用新型	CN201921882989.8	CN210628253U	2020-05-26

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