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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于运输单晶硅棒的装置	实用新型	CN202021780815.3	CN213832547U	2021-07-30
2	单晶硅生长炉的二次加料装置	实用新型	CN202021272964.9	CN213388966U	2021-06-08
3	一种石英筒切割机	实用新型	CN202021252392.8	CN213382328U	2021-06-08
4	一种清理石墨件的装置	实用新型	CN202021231165.7	CN213378372U	2021-06-08
5	提高单晶硅品质的热场及方法	发明专利	CN201911410265.8	CN110923807B	2021-06-08
6	提高单晶硅品质的热场及方法	发明专利	CN201911410265.8	CN110923807A	2021-06-08
7	加料装置	发明专利	CN202011517912.8	CN112725880A	2021-04-30
8	一种水冷导流筒	实用新型	CN202021250485.7	CN213037872U	2021-04-23
9	一种用于石墨件的清理装置	实用新型	CN202021229970.6	CN213033050U	2021-04-23
10	一种高纯石墨毡的制备方法及晶硅炉	发明专利	CN202011527046.0	CN112695486A	2021-04-23

共 15 页

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