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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆表面大深宽比TSV盲孔的清洗方法	发明专利	CN201510259860.1	CN104900493B	2018-02-16
2	一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法	发明专利	CN201510259857.X	CN104979171B	2018-01-16
3	一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法	发明专利	CN201510260171.2	CN104900494B	2017-07-07
4	一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法	发明专利	CN201510259857.X	CN104979171A	2015-10-14
5	一种高精度外延膜厚监控片及其制备方法	发明专利	CN201510260171.2	CN104900494A	2015-09-09
6	一种晶圆表面大深宽比TSV盲孔的清洗方法	发明专利	CN201510259860.1	CN104900493A	2015-09-09
7	一种基于PD SOI的二极管辅助触发ESD保护电路	发明专利	CN201310109113.0	CN103178058B	2015-09-02
8	一种具有自我ESD保护的输入输出电路	发明专利	CN201210428835.8	CN102969703B	2015-04-22
9	一种基于PD SOI工艺的体栅耦合ESD保护结构	发明专利	CN201210150748.0	CN102655149B	2015-01-07
10	一种基于PD SOI 的二极管辅助触发ESD 保护电路	发明专利	CN201310109113.0	CN103178058A	2013-06-26

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	西岳电子	www.xiyuee.com;www.xiyuee.com.cn	陕ICP备05000862号	企业	2015-05-22
2	西岳电子	www.xiyuee.com;www.xiyuee.com.cn	陕ICP备05000862号	企业	2015-05-22

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