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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	碳化硅单晶生长装置	实用新型	CN202022053597.X	CN213538159U	2021-06-25
2	用于碳化硅单晶体生长过程中温度控制的组装式坩埚装置	实用新型	CN202022053565.X	CN213538157U	2021-06-25
3	用于碳化硅单晶体生长过程中温度控制的组装式坩埚装置	发明专利	CN202010987508.0	CN112210817A	2021-01-12
4	碳化硅单晶生长装置	发明专利	CN202010987523.5	CN112126975A	2020-12-25

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	山东国晶电子科技股份有限公司	www.sinocryst.cn	鲁ICP备20023997号	企业	2020-06-16

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