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官网： www.vastity.com.cn

地址：中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼A644-28室

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软件著作权 41
作品著作权 0
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商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	VASTITY	-	20942726	商标已注册	2016-08-11	查看
2	VASTITY	-	17960361	商标无效	2015-09-23	查看

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软件著作权41

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	广奕全自动刻蚀淀积一体机自动控制系统	-	V1.0	2021SR0082114	-	-	2021-01-15
2	全自动反应离子刻蚀机控制系统	-	V1.0	2021SR0082087	-	-	2021-01-15
3	广奕晶圆制造生产线光刻机单机在线调度软件	-	V1.0	2021SR0081940	-	-	2021-01-15
4	广奕硅芯刻蚀清洗工艺程序软件	-	V1.0	2021SR0081939	-	-	2021-01-15
5	广奕离子注入机射频同步加速控制软件	-	V1.0	2020SR0816009	-	-	2020-07-23
6	广奕扩散炉工艺自动化计算机管理系统	-	V1.0	2020SR0815995	-	-	2020-07-23
7	广奕硅片传输系统板库控制软件	-	V1.0	2020SR0815974	-	-	2020-07-23
8	广奕硅片腐蚀清洗机程序软件	-	V1.0	2020SR0815967	-	-	2020-07-23
9	广奕注入机工艺试验平台控制软件	-	V1.0	2020SR0810865	-	-	2020-07-22
10	广奕光刻机精密工作台误差分析系统	-	V1.0	2020SR0807685	-	-	2020-07-22

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	-	www.vastity.com.cn	沪ICP备17023221号	企业	2020-02-10
2	-	www.vastityoa.com	沪ICP备17023221号	企业	2020-02-10

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