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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	多层外延工艺及其线性平台设备	发明专利	CN202111011630.5	CN113745131A	2021-12-03
2	多层外延工艺制作薄碳化硅晶片圆的方法	发明专利	CN202111011609.5	CN113745094A	2021-12-03
3	外延生长装置	发明专利	CN202110525995.3	CN113463190A	2021-10-01

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