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序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	海迪克磷预扩氧化炉软着陆控制系统软件	-	V1.0	2022SR0056434	-	2020-01-06	2022-01-10
2	海迪克真空炉监测系统软件	-	V1.0	2022SR0052541	-	2020-01-11	2022-01-10
3	海迪克低温炉快速降温系统软件	-	V1.0	2022SR0052540	-	2020-01-10	2022-01-10
4	海迪克镓预扩炉快速进出舟专用控制软件	-	V1.0	2022SR0051382	-	2020-01-05	2022-01-10
5	海迪克炉管内三氯化硼浓度监测系统软件	-	V1.0	2022SR0051381	-	2020-01-04	2022-01-10
6	海迪克炉管内磷酸浓度监测系统软件	-	V1.0	2022SR0051379	-	2020-01-03	2022-01-10
7	海迪克磷氧化炉进出舟室温补偿系统软件	-	V1.0	2022SR0050628	-	2020-01-07	2022-01-10
8	海迪克炉管内金属颗粒监测系统软件	-	V1.0	2022SR0050357	-	2020-01-13	2022-01-10
9	海迪克外点火燃烧流量控制系统软件	-	V1.0	2022SR0050356	-	2020-01-14	2022-01-10
10	海迪克再扩炉超温保护系统软件	-	V1.0	2022SR0050080	-	2020-01-09	2022-01-10

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