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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种无液氦超导感应加热装置	发明专利	CN202111600159.3	CN113993236A	2022-01-28
2	一种双真空舱室晶圆质子辐照装置及辐照方法	发明专利	CN202111509361.5	CN113903490A	2022-01-07

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