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序号 | 软件名称 | 软件简称 | 版本号 | 登记号 | 分类号 | 首次发表日期 | 登记批准日期 |
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1 | 磷化铟多晶合成的热场仿真研发项目系统 | - | V1.0 | 2022SR0655095 | - | - | 2022-05-27 |
2 | 高纯度磷化铟多晶生产用安全检测监控系统 | - | V1.0 | 2022SR0655094 | - | - | 2022-05-27 |
3 | 半导体材料合成炉的冷却水循环系统 | - | V1.0 | 2022SR0654755 | - | - | 2022-05-27 |
4 | 高纯度磷化铟多晶合成工艺仿真合成系统 | - | V1.0 | 2022SR0654754 | - | - | 2022-05-27 |
5 | 全自动磷化铟多晶合成装置控制研发系统 | - | V1.0 | 2022SR0646141 | - | - | 2022-05-26 |
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