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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	多晶硅生产中尾气处理方法及系统	发明专利	CN202010025944.X	CN113117442A	2021-07-16
2	一种多晶硅生产废水处理系统	实用新型	CN202021801721.X	CN213652165U	2021-07-09
3	一种氯硅烷渣浆液回收再利用的方法及其生产系统	发明专利	CN201911342347.3	CN113087735A	2021-07-09
4	一种提升氢气吸附柱效能的方法及装置、氢气回收系统	发明专利	CN201910953907.2	CN112619357A	2021-04-09
5	一种除硅粉装置和多晶硅包装设备	实用新型	CN201922360718.2	CN211711186U	2020-10-20
6	一种降低压缩机组振动的装置	实用新型	CN201921900205.X	CN211314489U	2020-08-21

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