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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种氟硅酸生产无水氟化氢的氟硅酸过滤净化装置	实用新型	CN202022410425.3	CN215946760U	2022-03-04
2	一种用于生产无水氟化氢的二氧化硅过滤分离装置	实用新型	CN202022410390.3	CN215137394U	2021-12-14
3	一种磷酸副产物氟硅酸生产无水氟化氢的微反应装置	实用新型	CN202022412202.0	CN214598932U	2021-11-05
4	一种生产无水氟化氢的尾气梯级吸收装置	实用新型	CN202022410423.4	CN214598197U	2021-11-05
5	一种生产无水氟化氢用氟硅酸提浓装置	实用新型	CN202022412187.X	CN214598106U	2021-11-05
6	一种磷酸副产物氟硅酸生产无水氟化氢的脱氟装置	实用新型	CN202022410507.8	CN214570736U	2021-11-02
7	一种用于生产无水氟化氢的蒸汽冷凝液余热回收装置	实用新型	CN202022410448.4	CN214010054U	2021-08-20
8	一种磷酸副产物氟硅酸生产无水氟化氢的脱水脱硫装置	实用新型	CN202022412189.9	CN213865373U	2021-08-03
9	一种磷酸副产物氟硅酸生产无水氟化氢的冷凝装置	实用新型	CN202022410470.9	CN213811296U	2021-07-27
10	一种无水氟化氢生产用防腐蚀防漏固液分离过滤装置	实用新型	CN202021889542.6	CN213031998U	2021-04-23

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