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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	含硅偶联剂共聚物成膜树脂及其有机防反射涂膜	发明专利	CN200610039656.X	CN100425630C	2008-10-15
2	含硅偶联剂的共聚物成膜树脂及其193nm光刻胶	发明专利	CN200510040276.3	CN1320007C	2007-06-06
3	光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法	发明专利	CN200510040392.5	CN1300187C	2007-02-14
4	含硅偶联剂共聚物成膜树脂及其有机防反射涂膜	发明专利	CN200610039656.X	CN1847274A	2006-10-18
5	光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法	发明专利	CN200510040392.5	CN1699431A	2005-11-23
6	含硅偶联剂的共聚物成膜树脂及其193nm光刻胶	发明专利	CN200510040276.3	CN1693323A	2005-11-09

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