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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	非晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法	发明专利	CN201310313476.6	CN103606589A	2014-02-26
2	一种高速生长硅基薄膜的低成本方法	发明专利	CN03103964.2	CN1273641C	2006-09-06
3	一种高速生长硅基薄膜的低成本技术	发明专利	CN03103964.2	CN1438358A	2003-08-27

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