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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置	发明专利	CN201210535561.2	CN102997834B	2016-05-25
2	一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置	实用新型	CN201220684165.1	CN203310365U	2013-11-27
3	一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置	发明专利	CN201210535561.2	CN102997834A	2013-03-27

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