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一种可快速安装料盘的旋转轴心

基本信息

申请号 CN202121759086.8 申请日 -
公开（公告）号 CN215815821U 公开（公告）日 2022-02-11
申请公布号 CN215815821U 申请公布日 2022-02-11
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 韦进;杨爱平;乔春娟;李玉婷;吴展超;聂存香;韩慧 申请（专利权）人 江苏汇成光电有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 王峰
地址 225128江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种可快速安装料盘的旋转轴心，包括料盘，料盘上开设有中心盘孔，料盘通过中心盘孔可转动地安装在旋转轴上，所述旋转轴朝外的一端外周分别环绕开设有第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，所述旋转轴上套设有与料盘相贴合的限位挡板，限位挡板前侧固定连接有限位块，限位块呈圆形，限位块中心开设有可容旋转轴穿过的轴孔，限位块的轴孔处设置有可卡入对应卡槽的限位卡板，限位块上设置有可推动限位卡板的弹性驱动机构。本实用新型能够将不同宽度尺寸的料盘快速安装在马达的旋转轴上，通过限位挡板和限位块将料盘精准限位，提高料盘的安装精度。