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一种料盘挡板卡锁治具

基本信息

申请号 CN202121759059.0 申请日 -
公开（公告）号 CN215648082U 公开（公告）日 2022-01-25
申请公布号 CN215648082U 申请公布日 2022-01-25
分类号 H05K13/04（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 韦进;杨爱平;乔春娟;李玉婷;吴展超;聂存香;韩慧 申请（专利权）人 江苏汇成光电有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 王峰
地址 225128江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种料盘挡板卡锁治具，包括可转动地安装在旋转轴上的料盘，旋转轴的前端穿过前面侧板并向前伸出，所述旋转轴的伸出端套设有与侧板相贴合的挡板，挡板中部开设有与旋转轴相匹配的中心孔一，所述挡板前侧固定连接有安装块，安装块的中部开设有可容旋转轴穿过的中心孔二，所述安装块的一侧开设有按压槽，按压板对应插入按压槽设置，按压槽内设置有与按压板相对应的弹性复位机构，所述安装块内对应中心孔二开设有移动槽，移动槽内设置有与按压板相联动的限位板，限位板与中心孔二相对应设置；所述挡板上设置有把手。本实用新型便于操作人员快速将挡板安装在旋转轴上，通过把手可轻松转动料盘。