一种具有晶圆保护装置的晶舟
基本信息
| 申请号 | CN202111320511.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114093796A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114093796A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张鹏;张雨晴 | 申请（专利权）人 | 江苏汇成光电有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 毛姗 |
| 地址 | 225128江苏省扬州市高新区金荣路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种具有晶圆保护装置的晶舟，包括舟体以及设于舟体上的保护装置，所述舟体内设有一排用于放置晶圆的插槽，舟体上端设有存入或取出晶圆的开口，保护装置包括U形限位杆和限位组件，所述U形限位杆与所述舟体的侧板转动连接，所述U形限位杆沿转动中心转动靠近或远离所述舟体开口，所述限位组件用于将所述U形限位杆固定在舟体开口处或者固定在侧板外壁面上。本发明提供的一种具有晶圆保护装置的晶舟，采用U形限位杆与舟体侧板转动连接，翻转舟体时通过U形限位杆挡住舟体开口，防止晶圆掉出，通过弹簧将U形限位杆侧边卡进侧板上的L形限位槽内，限制住U形限位杆的位置，保证U形限位板挡料的可靠性，结构简单，减少破片的产生。 |
