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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于纯化三氯化硼的除氯化氢装置及三氯化硼的纯化系统	发明专利	CN202210222173.2	CN114572992A	2022-06-03
2	一种高纯四氟化硅裂解反应器	发明专利	CN202210222172.8	CN114534626A	2022-05-27

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