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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统	发明专利	CN201310312221.8	CN103436847B	2016-11-23
2	基于MEMS的红外辐射热计及其制作方法	发明专利	CN201310712997.9	CN103728029B	2016-05-11
3	传感器的真空陶瓷封装结构	实用新型	CN201320850207.9	CN203674191U	2014-06-25
4	基于MEMS的红外辐射热计	实用新型	CN201320850208.3	CN203643027U	2014-06-11
5	传感器的真空陶瓷封装结构	发明专利	CN201310712996.4	CN103824817A	2014-05-28
6	基于MEMS的红外辐射热计及其制作方法	发明专利	CN201310712997.9	CN103728029A	2014-04-16
7	微机械真空传感器	实用新型	CN201320441949.6	CN203479456U	2014-03-12
8	基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统	发明专利	CN201310312221.8	CN103436847A	2013-12-11
9	微机械真空传感器	发明专利	CN201310312222.2	CN103424224A	2013-12-04

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