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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	压力传感器和惯性传感器及其形成方法	发明专利	CN201310508730.8	CN103708409B	2015-10-07
2	制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器	发明专利	CN201210126539.2	CN103373698B	2015-09-16
3	MEMS器件及其形成方法	发明专利	CN201010135707.5	CN102198925B	2015-03-04
4	惯性微机电传感器的制造方法	发明专利	CN201010200713.4	CN102275860B	2014-12-31
5	MEMS非易失存储器及存储单元	发明专利	CN201010618344.0	CN102568573B	2014-11-05
6	应用于三维片上集成系统的薄膜晶体管的制造方法	发明专利	CN201010568989.8	CN102487087B	2014-08-13
7	压力传感器和惯性传感器及其形成方法	发明专利	CN201310508730.8	CN103708409A	2014-04-09
8	MEMS静态存储器及MEMS可编程器件	发明专利	CN201010618215.1	CN102543173B	2014-01-08
9	陀螺仪及其制造方法	发明专利	CN201010200715.3	CN102278981B	2014-01-08
10	制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器	发明专利	CN201210126539.2	CN103373698A	2013-10-30

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