一种具有良好结合性抗氧化涂层的Ti材料及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010426865.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111519133B 公开(公告)日 2022-03-04
申请公布号 CN111519133B 申请公布日 2022-03-04
分类号 C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C22C14/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 闻明;余登德;郭俊梅;谭志龙;王传军;周利民;管伟明;许彦亭;沈月;胡昌义 申请(专利权)人 昆明贵金属研究所
代理机构 昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业) 代理人 姜开侠;姜开远
地址 650000云南省昆明市人民西路121号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有良好结合性抗氧化涂层的Ti材料,其特征在于所述Ti材料基材上覆盖有一层与基材具有良好结合性的抗氧化Ti‑Ru合金涂层,所述Ti‑Ru合金涂层中Ru之含量为5~40wt%,涂层厚度为1~20μm;所述的制备方法包括基材前处理、基材清洗、靶材清洗,涂层溅射成形工序,获得所需具有Ti‑Ru合金涂层的Ti材料。本发明具有Ti‑Ru合金涂层的Ti材料,在升温过程中,由于涂层抗氧化且未生成氧化物,因此具有良好的冶金结合和较小的界面应力,增强了Ti材料整体的抗氧化性能。本发明方法可广泛用于金属材料表面功能涂层的制备,以获得表层性能优异的金属材料。