一种具有良好结合性抗氧化涂层的Ti材料及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202010426865.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111519133B | 公开(公告)日 | 2022-03-04 |
申请公布号 | CN111519133B | 申请公布日 | 2022-03-04 |
分类号 | C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C22C14/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 闻明;余登德;郭俊梅;谭志龙;王传军;周利民;管伟明;许彦亭;沈月;胡昌义 | 申请(专利权)人 | 昆明贵金属研究所 |
代理机构 | 昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业) | 代理人 | 姜开侠;姜开远 |
地址 | 650000云南省昆明市人民西路121号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种具有良好结合性抗氧化涂层的Ti材料,其特征在于所述Ti材料基材上覆盖有一层与基材具有良好结合性的抗氧化Ti‑Ru合金涂层,所述Ti‑Ru合金涂层中Ru之含量为5~40wt%,涂层厚度为1~20μm;所述的制备方法包括基材前处理、基材清洗、靶材清洗,涂层溅射成形工序,获得所需具有Ti‑Ru合金涂层的Ti材料。本发明具有Ti‑Ru合金涂层的Ti材料,在升温过程中,由于涂层抗氧化且未生成氧化物,因此具有良好的冶金结合和较小的界面应力,增强了Ti材料整体的抗氧化性能。本发明方法可广泛用于金属材料表面功能涂层的制备,以获得表层性能优异的金属材料。 |
