星型双回转磁控溅射导电玻璃镀膜生产线及生产工艺专利查询专利号|摘要-满商公司网

星型双回转磁控溅射导电玻璃镀膜生产线及生产工艺

基本信息

申请号	CN200610062311.6	申请日	-
公开（公告）号	CN101130452A	公开（公告）日	2008-02-27
申请公布号	CN101130452A	申请公布日	2008-02-27
分类号	C03C17/23(2006.01);C23C14/35(2006.01)	分类	玻璃；矿棉或渣棉;
发明人	许生;徐升东;庄炳河;曹志刚;高文波	申请（专利权）人	豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司
代理机构	深圳创友专利商标代理有限公司	代理人	深圳豪威真空光电子股份有限公司;深圳豪威科技集团股份有限公司
地址	518054广东省深圳市南山区深南大道市高新技术工业村W1A区一楼
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种星型双回转磁控溅射导电玻璃镀膜生产线及生产工艺，该生产线包括A面进出片室、B面进出片室、A面旋转真空室、B面旋转真空室、A面第一溅射工作室、B面第一溅射工作室、中间连接室、A面旋转回架装置、B面旋转回架装置；A面进出片室、A面第一溅射工作室分别与A面旋转真空室相衔接；B面进出片室、B面第一溅射工作室分别与B面旋转真空室相衔接；中间连接室二端分别与A面旋转真空室、B面旋转真空室相衔接。生产工艺中，通过同时进行二个方向的生产流程控制，共用主要的生产设备，使相对同样产能的现有生产线，本发明的生产线占地面积小，投入设备成本大大降低，生产维护成本也大幅度降低，经济效益与社会效益十分显著。