公司前身为深圳威士达真空系统工程有限公司,成立于1994年11月。从组建至今,公司发展主要经历了三个阶段:1、1994年11月,深圳威士达真空系统工程有限公司在深圳注册成立,由中国深圳市威士达投资发展公司和香港冠益(远东)有限公司共同出资,注册资本为人民币1,000万元;2、1998年12月至2001年3月,经过多次的增资扩股及股权出让,公司股东变更为CHENLIMIN、XUSHENG、东莞市福东置业发展有限公司、豪威科技国际控股有限公司、深圳市创新科技投资有限公司、深圳市恒盛道投资有限公司、深圳市通运实业有限公司、深圳市益鸿电子有限公司、深圳市银孚投资发展有限公司和深圳市招商投资发展有限公司,注册资本增至人民币6,000万元;3、2001年4月至今,经深圳市人民政府深府股[2001]12号文批准,深圳威士达真空系统工程有限公司依法整体变更为深圳豪威真空光电子股份有限公司,股本设置以深圳威士达真空系统工程有限公司截止2000年9月30日经审计的净资产为基础,按1:1折合股份总数为6,000万股,注册资本为人民币6,000万元;2017年1月10日,公司名称由深圳豪威真空光电子股份有限公司更名为深圳豪威科技集团股份有限公司。