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专利信息8

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置	实用新型	CN202023059741.7	CN214437270U	2021-10-22
2	常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置	实用新型	CN202022935043.2	CN214300350U	2021-09-28
3	常压式化学气相沉积机用集灰箱	实用新型	CN202023045139.8	CN214300343U	2021-09-28
4	履带防走偏装置	实用新型	CN202023046430.7	CN214297752U	2021-09-28
5	基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置	实用新型	CN202021210257.7	CN213181183U	2021-05-11
6	具有加热功能的履带刻蚀腔	实用新型	CN202021220206.2	CN212955343U	2021-04-13
7	常压化学气相沉积机用快速夹具	实用新型	CN202021305991.1	CN212955337U	2021-04-13
8	常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置	实用新型	CN201821968764.X	CN209481788U	2019-10-11

软件著作权5

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	常压化学气相沉积机超声能量检测装置控制软件	-	V1.0	2020SR0615654	-	-	2020-06-12
2	常压化学气相沉积机气体流量偏差检测装置控制软件	-	V1.0	2020SR0614790	-	-	2020-06-12
3	常压化学气相沉积机传输稳定性改善装置控制软件	-	V1.0	2020SR0614408	-	-	2020-06-12
4	常压化学气相沉积机氢氟酸集中供液装置控制软件	-	V1.0	2020SR0614400	-	-	2020-06-12
5	常压化学气相沉积机工艺压力检测装置控制软件	-	V1.0	2020SR0610485	-	-	2020-06-11

作品著作权0

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	-	www.wxbestvalue.com	苏ICP备13048264号	企业	2019-07-31

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