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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于SoC的无掺杂半导体器件及其制作方法	发明专利	CN202010094704.5	CN113270419A	2021-08-17
2	制备碳纳米管薄膜的方法	发明专利	CN201711332304.8	CN109913861B	2021-07-30
3	多指标检测用场效应晶体管型生物传感器件	发明专利	CN202011237069.8	CN112881494A	2021-06-01
4	场效应晶体管型生物传感器件及生物分子检测方法	发明专利	CN202011226010.9	CN112881493A	2021-06-01
5	一种源漏接触金属的自对准图形化方法	发明专利	CN201911164876.9	CN112838164A	2021-05-25
6	一种碳纳米管薄膜的制备装置及方法	发明专利	CN201910831831.6	CN110451484B	2021-05-25
7	半导体性单壁碳纳米管的提纯方法	发明专利	CN201711246750.7	CN109867273B	2021-04-02
8	一种制备高密度顺排碳纳米管薄膜的装置和方法	发明专利	PCT/CN2020/113382	WO2021043236A1	2021-03-11
9	一种制备高密度顺排碳纳米管薄膜的方法	发明专利	PCT/CN2020/113380	WO2021043235A1	2021-03-11
10	一种基于碳基材料的Y型栅结构及其制备方法	发明专利	CN202011179036.2	CN112420821A	2021-02-26

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