一种集成电路器件和其形成方法及电子设备
基本信息
申请号 | CN202010408257.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111640862B | 公开(公告)日 | 2021-04-16 |
申请公布号 | CN111640862B | 申请公布日 | 2021-04-16 |
分类号 | H01L45/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 邱泰玮;沈鼎瀛;康赐俊;刘宇;王丹云;单利军 | 申请(专利权)人 | 厦门半导体工业技术研发有限公司 |
代理机构 | 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 周伟 |
地址 | 361008福建省厦门市软件园三期诚毅北大街62号109单元0206号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种集成电路器件和其形成方法及电子设备。集成电路器件包括:下部金属互联层,被下部介电层围绕;底部氧化层,设置在所述下部介电层上方;底部电极,设置在所述下部金属互联层上方,并且被所述底部氧化层围绕;电阻转换层,具有可变电阻,设置在所述底部电极上方;电阻转换层保护层,设置在所述底部氧化层上方,并且覆盖所述电阻转换层的侧面;阻氧层,设置在所述电阻转换层上方,并且覆盖所述电阻转换层的顶面;抓氧层,设置在所述阻氧层上方;顶部电极,设置在所述抓氧层上方。 |
