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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	Cedal电压机冷却装置	发明专利	CN201010604466.4	CN102045947B	2016-03-16
2	Cedal电压机冷却装置	发明专利	CN201010604466.4	CN102045947A	2011-05-04
3	提高蚀刻工艺中线路精度的方法	发明专利	CN200710036877.6	CN100505987C	2009-06-24
4	提高蚀刻工艺中线路精度的方法	发明专利	CN200710036877.6	CN101009976A	2007-08-01

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