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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体光刻板快速清洗装置	实用新型	CN202020578441.0	CN212069702U	2020-12-04
2	一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置	实用新型	CN202020579659.8	CN211921680U	2020-11-13
3	一种半导体元件蒸发镀膜装置	实用新型	CN202020578444.4	CN211921679U	2020-11-13
4	一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具	实用新型	CN202020579650.7	CN211916132U	2020-11-13
5	一种半导体热板光刻装置	实用新型	CN202020578442.5	CN211554637U	2020-09-22
6	一种半导体设备移动支撑装置	实用新型	CN201921463731.4	CN211198458U	2020-08-07
7	一种半导体设备的器件清洗装置	实用新型	CN201921462802.9	CN210546647U	2020-05-19
8	一种半导体设备粉尘去除装置	实用新型	CN201921462771.7	CN210543993U	2020-05-19
9	一种半导体材料抛光装置	实用新型	CN201921454291.6	CN210413996U	2020-04-28
10	一种半导体加工设备用承载装置	实用新型	CN201921464537.8	CN210379011U	2020-04-21

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