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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种锂离子电池负极用高性能硅材料的制备方法	发明专利	CN202010371487.X	CN111591999B	2021-06-08
2	一种锂离子电池负极用高性能硅材料的制备方法	发明专利	CN202010371487.X	CN111591999A	2021-06-08
3	一种物理除磷制备多晶硅的方法及设备	发明专利	CN201010286544.0	CN101948113B	2014-01-01
4	制备多晶硅的方法	发明专利	CN201110276760.1	CN102432021B	2013-02-20
5	制备多晶硅的方法	发明专利	CN201110276760.1	CN102432021A	2012-05-02
6	一种物理除硼制备多晶硅的方法	发明专利	CN201010286555.9	CN101955186A	2011-01-26
7	一种物理除磷制备多晶硅的方法及设备	发明专利	CN201010286544.0	CN101948113A	2011-01-19

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