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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种物理气相沉积的升降机构	实用新型	CN202121582736.6	CN215251156U	2021-12-21
2	一种物理气相沉积样品加热装置	实用新型	CN202121577158.7	CN215251154U	2021-12-21
3	一种物理气相沉积用多向转动装置	实用新型	CN202121580017.0	CN215251148U	2021-12-21
4	一种用于物理气相沉积的腔室结构	实用新型	CN202121577748.X	CN215251129U	2021-12-21
5	一种低温物理气相沉积装置	实用新型	CN202121582737.0	CN215251123U	2021-12-21
6	一种采用电磁加热的物理气相沉积设备	实用新型	CN202121577407.2	CN215251122U	2021-12-21
7	一种带有护罩结构的物理气相沉积设备	实用新型	CN202121577123.3	CN215251114U	2021-12-21

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