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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种等离子体处理装置	发明专利	CN202011334077.4	CN112750676B	2022-07-08
2	面板分析试样分离装置	实用新型	CN202122790960.0	CN216863989U	2022-07-01
3	显示面板及其检测装置	实用新型	CN202122995343.4	CN216671168U	2022-06-03
4	机械悬臂偏移检测装置	实用新型	CN202122788015.7	CN216668587U	2022-06-03
5	预抽真空装置	实用新型	CN202123154262.8	CN216663218U	2022-06-03
6	蒸镀机	实用新型	CN202123346658.2	CN216663213U	2022-06-03
7	靶板结构及面板镀膜装置	实用新型	CN202122720933.6	CN216663208U	2022-06-03
8	轴承更换辅助装置	实用新型	CN202122758993.7	CN216657805U	2022-06-03
9	扩散器与背板的连接结构及化学气相沉积装置	实用新型	CN202123282318.8	CN216550696U	2022-05-17
10	检测装置	实用新型	CN202122904194.6	CN216525541U	2022-05-13

共 20 页

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