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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种真空镀膜设备	实用新型	CN202120018467.4	CN214496470U	2021-10-26
2	一种镀膜卷绕装置	实用新型	CN202120018458.5	CN214496469U	2021-10-26
3	一种离子束镀膜装置	实用新型	CN202120018453.2	CN214496464U	2021-10-26
4	一种磁过滤扫描磁场装置	发明专利	CN202110080477.5	CN112725733A	2021-04-30

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	低介电低损耗陶瓷滤波器金属镀膜制备系统	-	V1.0	2021SR0305371	-	-	2021-02-26
2	OLED透明导电电极制备系统	-	V1.0	2021SR0305370	-	-	2021-02-26
3	微型刀具超硬超韧涂层制备系统	-	V1.0	2021SR0304953	-	-	2021-02-26
4	高脉冲离子束镀膜控制系统	-	V1.0	2021SR0304952	-	-	2021-02-26

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