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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种化学场效应晶体管气敏传感器及其制造方法	发明专利	CN201510531987.4	CN105699463B	2018-06-12
2	一种MEMS电容式压力传感器的敏感结构	发明专利	CN201710505286.2	CN107421662B	2017-12-01
3	一种MEMS电容式压力传感器的新型敏感结构	发明专利	CN201710505286.2	CN107421662A	2017-12-01
4	一种化学场效应晶体管气敏传感器及其制造方法	发明专利	CN201510531987.4	CN105699463A	2016-06-22

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