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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	石墨盘烘烤夹具及烘烤装置	发明专利	CN202210154369.2	CN114199031A	2022-03-18
2	一种承载装置及气相外延设备	发明专利	CN202111384254.4	CN113818076B	2022-03-15
3	VCSEL芯片及其制备方法和激光扫描雷达	发明专利	CN202110118628.1	CN112993750B	2022-03-15
4	一种测量装置及手套箱	发明专利	CN202111584552.8	CN113970750A	2022-01-25
5	用于晶圆解键合的系统以及方法	发明专利	CN202110954249.6	CN113871322A	2021-12-31
6	背面散热的VCSEL芯片及其制备方法和应用	发明专利	CN202110867426.7	CN113314945B	2021-12-28
7	具有非氧化型电流限制层的VCSEL芯片及其制备方法	发明专利	CN202111417176.3	CN113839308A	2021-12-24
8	一种承载装置及气相外延设备	发明专利	CN202111384254.4	CN113818076A	2021-12-21
9	基于自对准技术的VCSEL芯片柱面刻蚀方法及其应用	发明专利	CN202110801904.4	CN113794105A	2021-12-14
10	改善VCSEL曝光均匀性的方法和VCSEL芯片	发明专利	CN202110805045.6	CN113725727A	2021-11-30

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