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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种新型废液回收柜	实用新型	CN201921196740.1	CN210905155U	2020-07-03
2	一种刻蚀液中央供液装置	实用新型	CN201921196991.X	CN210511060U	2020-05-12
3	一种多功能高效膜过滤装置	发明专利	CN201810500375.2	CN108619910B	2019-03-15
4	一种多功能高效膜过滤装置	发明专利	CN201810500375.2	CN108619910A	2018-10-09
5	可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪	实用新型	CN201721336574.1	CN207480616U	2018-06-12
6	可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪	发明专利	CN201710961278.9	CN107511841A	2017-12-26

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