商标信息2
专利信息4
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种碳化硅瑕疵检测设备 | 实用新型 | CN202020326096.1 | CN211927730U | 2020-11-13 |
2 | 一种物镜自动对焦装置 | 实用新型 | CN202020328147.4 | CN211577540U | 2020-09-25 |
3 | 3D形貌测量误差的在线补偿测量装置 | 实用新型 | CN201920238210.2 | CN209230556U | 2019-08-09 |
4 | 3D形貌测量误差的在线补偿测量装置及测量方法 | 发明专利 | CN201910138226.0 | CN109668522A | 2019-04-23 |
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