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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种单晶炉用异形管道清理装置	实用新型	CN202022558954.8	CN214441546U	2021-10-22
2	一种多晶硅料的筛分装置	实用新型	CN202022558733.0	CN214440732U	2021-10-22
3	一种单晶硅制造用烘干装置	实用新型	CN202022665450.6	CN213931763U	2021-08-10
4	一种单晶炉抽气管道连接件	实用新型	CN202022558952.9	CN213929891U	2021-08-10
5	一种单晶硅生产用坩埚制冷装置	实用新型	CN202022669950.7	CN213925133U	2021-08-10
6	一种用于单晶硅生产制造的石英导流锥	实用新型	CN202022669964.9	CN213925128U	2021-08-10
7	一种单晶硅制造用石英坩埚	实用新型	CN202022665447.4	CN213925123U	2021-08-10
8	一种单晶炉二次加料装置	实用新型	CN202022558919.6	CN213925122U	2021-08-10
9	一种单晶硅导流装置	实用新型	CN202022558732.6	CN213925119U	2021-08-10
10	一种氩气封纯水装置	实用新型	CN202022558896.9	CN213922441U	2021-08-10

共 9 页

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